正光阻負光阻解析度的問題,透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列問答集和資訊懶人包

正光阻負光阻解析度的問題,我們搜遍了碩博士論文和台灣出版的書籍,推薦菊地正典寫的 看圖讀懂半導體製造裝置 和周卓煇的 護眼,從用對光開始:防3C藍害專家教你保護眼睛的終極秘笈都 可以從中找到所需的評價。

另外網站曝光顯影也說明:通過在曝光過程結束後加入顯影液,正光阻的感光區、負光阻的非感光區,會溶解於顯影液中。這一步完成後,光阻層中的圖形就可以顯現出來。為了提高解析度, ...

這兩本書分別來自世茂 和商周出版所出版 。

國立成功大學 機械工程學系 藍兆杰所指導 梁家皓的 線性串聯彈性致動器之模組化研究 (2021),提出正光阻負光阻解析度關鍵因素是什麼,來自於模組化、線性串聯彈性致動器、電流感測、阻抗控制、頓轉扭矩、扭矩漣波。

而第二篇論文國立交通大學 應用化學系碩博士班 許千樹所指導 葉曜銘的 高機械性能以及高解析度感光型聚醯亞胺材料合成及性質研究 (2020),提出因為有 感光型聚醯亞胺、光阻、光致產鹼劑、光致產酸劑、熱致產鹼劑、低溫環化、鏈延長型聚醯胺酸、正型感光性聚醯亞胺、負型感光性聚醯亞胺的重點而找出了 正光阻負光阻解析度的解答。

最後網站光阻:概念,類別,特性則補充:像是光刻技術,可以在材料表面刻上一個圖案的被覆層。 類別. 光阻有兩種,正向光阻(positive photoresist)和負向光阻(negative photoresist).

接下來讓我們看這些論文和書籍都說些什麼吧:

除了正光阻負光阻解析度,大家也想知道這些:

看圖讀懂半導體製造裝置

為了解決正光阻負光阻解析度的問題,作者菊地正典 這樣論述:

  清華大學動力機械工程學系教授 羅丞曜  審訂   得半導體得天下?   要想站上世界的頂端,就一定要了解什麼是半導體!   半導體可謂現在電子產業的大腦,從電腦、手機、汽車到資料中心伺服器,其中具備的智慧型功能全都要靠半導體才得以完成,範圍廣布通信、醫療保健、運輸、教育等,因此半導體可說是資訊化社會不可或缺的核心要素!   半導體被稱為是「產業的米糧、原油」,可見其地位之重要   臺灣半導體產業掌握了全球的科技,不僅薪資傲人,產業搶才甚至擴及到了高中職!   但,到底什麼是半導體?半導體又是如何製造而成的呢?   本書詳盡解說了製造半導體的主要裝置,並介紹半導體

所有製程及其與使用裝置的關係,從實踐觀點專業分析半導體製造的整體架構,輔以圖解進行細部解析,幫助讀者建立系統化知識,深入了解裝置的構造、動作原理及性能。

線性串聯彈性致動器之模組化研究

為了解決正光阻負光阻解析度的問題,作者梁家皓 這樣論述:

串聯彈性致動器為將致動源與撓性元件結合,藉由量測撓性元件變形量推得機構輸出端出力之致動器,相較於剛性致動器,串聯彈性致動器有高逆向驅動能力及高精度力量控制等優點,常被用於協作型機器人領域,本文開發出模組化串聯彈性致動器及雙軸小型化致動器模組兩種新型線性串聯彈性致動器,以模組化、高剛性及小型化為目標,模組化串聯彈性致動器為工業型機器人及協作型機器人皆可使用的線性致動器模組,設計上平面彈簧拆裝快速,模組化串聯彈性致動器以切換不同撓性元件勁度快速適應當前任務,因此模組化串聯彈性致動器具有很高的靈活性;以模組化、雙軸及小型化為目標,雙軸小型化致動器模組為滿足協作型機器人雙自由度驅動需求而開發,於復健

機器人、外甲機器人及人形機器人等研究領域中,控制肩、腕及腿部皆需雙自由度致動器達成,雙軸小型化致動器有小體積、高出力及模組化等特徵,利於與其他結構進行整合,透過與前人設計及市售產品比較歸納新設計致動器模組優勢。串聯彈性致動器型及電流型致動器模組為模組化串聯彈性致動器兩種模式,串聯彈性致動器型安裝平面彈簧或內藏式平面彈簧作為撓性元件,內藏式平面彈簧為平面彈簧新設計,在有限空間下提升彈簧變形量使彈簧能承受更大的線性出力,串聯彈性致動器型透過量測彈簧變形量獲得精準輸出力量,因此可執行精準力量及等效虛擬勁度控制,更換勁度不同平面彈簧可在力量控制解析度及最大出力之間做出取捨,低勁度平面彈簧會有高力量控制

解析度及低最大出力。電流型將撓性元件替換為鋼板,維持高勁度的情況下透過步進馬達電流推算輸出力量進行力量控制,在高出力下有不錯的力量控制精度。最後本文提出新模組化驅動板並探討頓轉扭矩及扭矩漣波效應對模組輸出影響,提升致動器模組化及對本文使用的交軸驅動法高精度力量控制進行驗證,證明致動器模組高控制性能。

護眼,從用對光開始:防3C藍害專家教你保護眼睛的終極秘笈

為了解決正光阻負光阻解析度的問題,作者周卓煇 這樣論述:

藍光到底是什麼?竟會掀起「藍害疫情」? 燈光、螢幕到底要多亮才夠? 你的防藍光產品真的有效嗎?OLED產品是轉機? 仰賴3C產品的現代,小孩與大人該怎麼護眼? 好光解密X護眼對策X健康新知 專業光電學家不藏私分享畢生絕學 在每3人就有1人近視的世代,誰眼睛好,誰就是贏家! 本書詳解三大絕招──減亮、去藍、縮時 告訴你如何搭配日常實踐,護眼也護身! 「藍害疫情」已來到,須即刻展開「護眼行動」! ◆藍光傷眼,無所不在的殺手 拜科技之賜,我們有了方便的通訊設備,沒想到這些設備的光線長期使用後,卻會造成眼睛不可逆的傷害,連年輕人也沒有例外。所謂的「藍光」到底是什麼?又該怎麼辨認? ◆

好光護眼,趁還來得及 不同的人,有非常不同的照度需求,這代表有許多因素,會影響我們看書、看3C的「適讀亮度」,並不是一般認為的「越亮越好」,還要以「多休息」、「少藍」、「減亮」三個護眼行動,才能減緩此等嚴峻的「國安問題」。 ◆專家解說,聰明選擇真正有效的護眼用品 為避免將要用一輩子的視力,提前用罄,全球人類迫切想保護自己眼睛,抗藍光相關的產品、技術,有極大商機。市面上標榜「護眼」的商品、食品更是百百種,到底這些產品有無功效,能夠阻擋多少損害,讓光電專家解釋給你聽。 喪失「視界」,如此可怕的事情,已像核彈級的海嘯一般,席捲而來,全球受害人口與比率,都正在快速上升中。 這一次,我們要面對的敵人

,不是病毒,而是自己的壞習慣,唯有認清事實,及早遠離既有或正在養成的壞習慣,才能贏得這次的大戰! 司馬庫斯頭目 Masay Sulung(馬賽穌隆) 國立臺北科技大學校長 王錫福 九八新聞台「財經一路發」主持人 阮慕驊 作家 吳淡如 竹科科技生活雜誌社長 林芝華 新竹市曙光女中校長 姚麗英 新竹市曙光女中動手做科學社老師 周明麗 天來創新集團董事長 陳來助 專業媒體人 陳鳳馨 IC之音竹科廣播電台副總經理 郭蘭玉 台大新竹分院眼科部主任醫師 葉伯廷 中廣公司董事長 趙少康 全方位媒體人、飛碟聯播網「生活同樂會」節目主持人 蕭彤雯 熱情推薦  

高機械性能以及高解析度感光型聚醯亞胺材料合成及性質研究

為了解決正光阻負光阻解析度的問題,作者葉曜銘 這樣論述:

此論文中,我們合成一系列以鏈延長系統以及化學放大系統為基礎之感光型聚醯亞胺 (PSPI)。以1-methyl-2-pyrrolidone (NMP) 作為溶劑,使用3,3’,4,4’-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA)以及4,4’-oxydianiline (ODA) 作為單體且以di-tert-butyl dicarbonate (DIBOC) 作為封端劑合成具有鏈延長功能之聚醯胺酸。此鏈延長型聚醯胺酸之分子量被控制在適當範圍,因此可用2.38 wt% tetramethyl ammonium hydroxide水溶液(TMAHaq)作為顯

影液,且在固化過程當中進行鏈延長反應。在正型光阻研究中,我們將熱裂解型交聯劑1,3,5-tris [(2-vinyloxy)ethoxy]benzene (TVEB)、鏈延長劑BPDA及光致產酸劑 (PAG) (5-propylsulfonyloxyimino-5H-thiophene-2-ylidene)-(2-methylphenyl)acetonitrile (PTMA) 加入到鏈延長型聚醯胺酸中。此光阻溶液組成為聚醯胺酸溶液 (在NMP當中,固含為30 wt%)、TVEB (相對於聚醯胺酸重量比為15 wt%) 及PTMA (相對於聚醯胺酸重量比為4.5 wt%)。此感光型聚醯亞胺使用

之曝光光源波長為365 nm,在室溫下使用2.38 wt% TMAHaq作為顯影液進行顯影。其感光性為47 mJ cm−2,對比度為5.8。在接觸式曝光模式中,使用此感光型聚醯亞胺可在膜厚3 μm薄膜上製作線寬為3 μm之圖形。最後經350 ℃,1小時固化程序後,形成完全環化聚醯亞胺薄膜。此感光型聚醯亞胺具有良好機械強度、延展性及解析度之特性。除此之外,我們將另一種鏈延長劑diphenyl isophthalate (DPI) 及熱致產鹼劑 (TBG) t-butyl 2,6-dimethylpiperidine-carboxylate (BDPC) 加入鏈延長型聚醯胺酸以製作第二種正型光阻組

成。此感光型聚醯亞胺具有高解析度 (3 μm)、優良機械性能、低交聯劑殘留以及低固化溫度 (250 ℃)。BDPC之催化做作用可以有效降低固化溫度及中和PTMA之酸性以降低銅線腐蝕。DPI之耐水解性可以有效增加光阻使用期限,增廣光阻應用範圍。在負型光阻研究中,我們將光致產鹼劑 (PBG) (E)-1-piperidino-3-(2-hydroxyphenyl)-2-propen-1-one (PHPP) 加入到鏈延長型聚醯胺酸中。此光阻溶液組成為聚醯胺酸溶液 (在NMP當中,固含為20 wt%)以及PHPP (相對於聚醯胺酸重量比為15 wt%)。此感光型聚醯亞胺使用之曝光光源波長為365 n

m,在室溫下使用2.38 wt% TMAHag/iPrOH (wt/wt = 90/10)作為顯影液進行顯影。其感光性為152 mJ cm−2,對比度為5.9。在接觸式曝光模式中,使用此感光型聚醯亞胺可在膜厚3 μm薄膜上製作線寬為2 μm之圖形。最後經過200 ℃,1小時固化程序後形成完全環化聚醯亞胺薄膜。此感光型聚醯亞胺組成簡單,具有低固化溫度、優良機械性質及高解析度之特性。