光阻塗佈原理的問題，透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列問答集和資訊懶人包

看圖讀懂半導體製造裝置

為了解決光阻塗佈原理的問題，作者菊地正典 這樣論述：

　　清華大學動力機械工程學系教授 羅丞曜  審訂 　　得半導體得天下？ 　　要想站上世界的頂端，就一定要了解什麼是半導體！ 　　半導體可謂現在電子產業的大腦，從電腦、手機、汽車到資料中心伺服器，其中具備的智慧型功能全都要靠半導體才得以完成，範圍廣布通信、醫療保健、運輸、教育等，因此半導體可說是資訊化社會不可或缺的核心要素！ 　　半導體被稱為是「產業的米糧、原油」，可見其地位之重要 　　臺灣半導體產業掌握了全球的科技，不僅薪資傲人，產業搶才甚至擴及到了高中職！ 　　但，到底什麼是半導體？半導體又是如何製造而成的呢？ 　　本書詳盡解說了製造半導體的主要裝置，並介紹半導體

所有製程及其與使用裝置的關係，從實踐觀點專業分析半導體製造的整體架構，輔以圖解進行細部解析，幫助讀者建立系統化知識，深入了解裝置的構造、動作原理及性能。

改變世界的科學定律：與33位知名科學家一起玩實驗

為了解決光阻塗佈原理的問題，作者川村康文 這樣論述：

　　「人類歷史其實就是一部科技發明與發現史。」   　　重力、浮力、動力、引力、電力、磁力…… 　　看看科學家們是如何在各種實驗中發現足以改變世界的定律。   　　從歷史入手，讓大家更容易了解此原理的來龍去脈，之後再親手進行實驗，深刻體會原理在現實中的實際運用。 　　 　　阿基米德、伽利略、牛頓、伏打、安培、歐姆、焦耳、愛迪生、愛因斯坦……跟這33位科學家一起，探討理科實驗的魅力所在吧！   　　●阿基米德——「給我一個支點，我就可以舉起整個地球」在敘拉古戰爭中，利用製作的投石機擊退羅馬海軍，同時發明了阿基米德式螺旋抽水機。   　　●伽利略‧伽利萊——天文學之父、科學之父，科學實驗方法的

先驅者之一，發現了單擺的等時性、自由落體定律、加速度的概念、慣性定律。   　　●艾薩克・牛頓——自然哲學家、數學家、物理學家、天文學家、神學家。發現萬有引力、二項式定理，之後又發展出微分以及微積分學。完成了世界知名的「牛頓三大定律」。   　　●麥可・法拉第——成功使氯氣液化並發現了苯。提出法拉第電解定律。其所最早發現量子尺寸的觀察報告，亦被視為奈米科學的誕生。   　　望遠鏡原來是這樣發明的？ 　　只靠一根吸管就能輕鬆將人抬起？ 　　用鉛筆也能做電池？ 　　從歷史上科學家的故事中，找出的101個實驗方法，實際動手來進行吧！   　　◎ 阿基米德浮體原理 　　浸在流體中的物體，僅會減輕該物體

乘載於流體的重量部分。   　　◎ 自由落體定律 　　認為物體會都以相同速度落下，即使物體較重，也不會因為重力而加速落下。   　　◎ 慣性定律 　　一個靜止的物體，只要沒有外力作用於該物體上，該物體就會持續維持靜止。   　　◎ 萬有引力 　　牛頓發現「克卜勒三大定律」適用於說明繞著太陽公轉的地球運動與木星的衛星運動的方程式，因而發現了「萬有引力定律」。   　　◎ 伏打電池 　　伏打電池是一種電力為0.76 V的一次電池。正極使用銅板，負極使用鋅板，使用硫酸作為電解液。   　　◎ 安培定律 　　「安培定律」是一種用來表示電流及其周圍磁場關係的法則。磁場會沿著閉合迴路的路徑補足磁場的積分，

補足的積分結果會與貫穿閉合迴路的電流總和成正比。補足磁場則會以線積分的方式進行。   　　◎ 焦耳定律 　　由電流所產生的熱量Q會與通過電流I的平方以及導體的電阻R成正比（Q ＝ RI 2）   　　◎ 廷得耳效應 　　當光線通過膠體粒子時，光會出現散射現象，因此用肉眼就可以看到光的行走路徑。   　　◎ 光電效應 　　振動數為V的光固定擁有hv的能量，金屬内的電子會吸收該能量，因此電子所得到的能量為hv，當可以將電子從金屬内側搬運至外側的必要能量W（功函數）較大時，電子就會立刻被釋放出來。   　　◎ LED的原理 　　LED是將P型半導體與N型半導體接合而成的物體。稱作PN接面。P型半導體

是由電洞（正電）搬運電，N型半導體則是由電子（負電）搬運電。P型的電位比N型的電位來得高時，P型内部的電洞（正孔）會流向負極，N型内部的自由電子則會流向正極。   多位科普專業人士誠心推薦（依首字筆畫排序）   　　姚荏富（科普作家） 　　張東君（科普作家） 　　陳振威（新北市國小自然科學領域輔導團資深研究員） 　　鄭國威（泛科學知識長）

添加不同導電碳材應用於磷酸鋰鐵/碳陰極複合材料

為了解決光阻塗佈原理的問題，作者林冠吟 這樣論述：

目錄明志科技大學碩士學位論文口試委員審定書 i誌謝 ii摘要 iiiAbstract v目錄 viii圖目錄 xi表目錄 xvii第一章 緒論 11.1 前言 11.2 研究動機 2第二章 文獻回顧 42.1 鋰離子二次電池之發展 42.1.1鋰離子二次電池反應機制及熱失控 52.2 陰極材料(Cathode materials) 82.3 陽極材料(Anode) 102.4 隔離膜(Separator) 122.5 電解質(Electrolyte) 142.6 磷酸鋰鐵(LiFePO4)的基本特性 162.7 磷酸鋰鐵陰極材料改質方法 182.7.

1 碳層包覆 182.7.2 添加導電/包覆導電的碳材 212.7.3 縮小粒徑 242.8 磷酸鋰鐵材料之合成方法 262.8.1 微波法(Microwave method) 262.8.2 溶膠凝膠法(Sol-gel method) 282.8.3 水熱法(Hydrothermal method) 312.8.4 噴霧乾燥法(Spray-drying method) 35第三章 實驗方法 393.1 實驗藥品與儀器 393.1.1 實驗儀器與設備 403.2 LFP/C複合陰極材料之製備方法 413.2.1磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)製備方法 413.2.2磷酸鋰鐵

/碳/多孔氧化石墨烯(LFP/C/PGO)製備方法 423.2.3磷酸鋰鐵/碳/氣相生長碳纖維(LFP/C/VGCF)製備方法 443.3 LFP/C之陰極複合材料之物性、化性分析 463.3.1磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)陰極材料之物化性分析方法 473.3.2磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)陰極材料之化學成份分析 563.4 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)陰極材料之電化學性質分析 573.4.1電極片製備 573.4.2鈕扣型鋰離子半電池封裝 593.4.3電池充/放電穩定度測試 603.4.4循環伏安法測試 613.4.5交流阻抗測試 623.4.6恆電流間歇滴定法測試 64

第四章 結果與討論 654.1 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)之材料晶相結構分析 654.1.1原位-晶相結構分析 674.2 磷酸鋰鐵/碳(LiFePO4/C)之表面形態分析 724.2.1 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)之材料化學組成元素分析 764.2.2 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)之顯微結構微分析 794.3 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)之碳層結構分析 844.3.1原位-顯微拉曼光譜分析 864.4 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)之比表面積分析(BET) 884.5磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)之粉末電子導電度分析 914.6 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)之殘碳量分析 924.7

磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)電化學分析法 934.7.1 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)之低電流速率之充放電分析 934.7.2 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)之高電流速率之充放電分析 994.7.3 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)之長期循換穩定性分析 1044.8 磷酸鋰鐵/碳(LFP /C)循環伏安分析 1184.8.1磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)電化學微分曲線分析 1204.9 磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)交流阻抗及鋰離子擴散係數分析 1244.9.1磷酸鋰鐵/碳(LFP/C)恆電流間歇滴定法測試 129第五章 結論 135參考文獻 137 圖目錄圖 1、鋰離子二次電池充放電原理示意圖

[12]。 5圖 2、1992年至2020年鋰離子電池的世界市場價值[15]。 6圖 3、鋰離子二次電池熱失控三個階段示意圖[19]。 7圖 4、陰極材料中主要分為三種不同的晶體結構[28]。 9圖 5、鋰離子電池之陽極材料分類圖。 10圖 6、鋰離子電池之陽極材料特性。 11圖 7、各種製造隔離膜的方法示意圖[39]。 12圖 8、磷酸鋰鐵(LiFePO4)與磷酸鐵(FePO4)晶格結構圖[53]。 17圖 9、LiFePO4和LiFePO4/C複合材料的SEM圖。 18圖 10、LiFePO4和LiFePO4/C複合材料的SEM圖。 19圖 11、未塗覆TWEEN 80

的LiFePO4 (a). SEM圖 (b). TEM和HRTEM圖；塗覆了TWEEN 80的LiFePO4 (c). TEM和 (d). HRTEM圖。 20圖 12、LFP–CNT–G組合的網絡結構示意圖[58]。 21圖 13、SEM圖 (a). 原始LFP (b). LFP-CNT複合材料 (c). LFP-G複合材料 (d). LFP-CNT-G複合材料；TEM圖 (e). 原始LFP (f). LFP–CNT複合材料 (g). LFP–G複合材料 (h). LFP–CNT–G複合材料。 22圖 14、(a) VC/LFP及C/LFP的放電曲線圖、(b) VC/LFP及C/LF

P循環比較圖。 22圖 15、VC/LFP和C/LFP的EIS阻抗曲線比較圖。 23圖 16、$VGCF的製造過程示意圖[60]。 23圖 17、LFP/C和LFP/C-Tween分析(a). XRD圖譜，(b). 粒徑分佈，(c).和(d). SEM圖，(e)和(f). TEM圖。 25圖 18、(A). LiFePO4/graphene，(B). LiFePO4/C複合材料在0.1至10C不同電流速率下的充電/放電曲線。 27圖 19、(A). LiFePO4/graphene，(B). LiFePO4/C複合材料在0.1至10 C的各種電流速率下的充電/放電循環性能圖。 27

圖 20、SEM圖(a). HY-LiFePO4 (b). HY-SO-LiFePO4。 29圖 21、(a)、(b) LiFePO4/C和(c)、(d) LiFePO4/CG樣品的SEM和TEM圖。 30圖 22、(a)、(b) LiFePO4/C和(c)、(d) LiFePO4/CG複合材料在不同速率下的充電/放電曲線和循環性能。 30圖 23、LiFePO4/C核-殼複合材料(a). XRD圖, (b). SEM圖, (c). TEM圖, (d). HRTEM圖。 32圖 24、SEM圖(a). 3DG, (b). FP, (c)、(d). FP/3DG, (e). LFP/C,

(f). LFP/3DG /C。 33圖 25、LFP/C和LFP/3DG/C，(a). 0.2C、(b). 1C時的循環性能曲線和庫侖效率。 34圖 26、LFPO/rGO複合材料(a)~(c). SEM圖像，(d)~(f). TEM圖像。 34圖 27、SEM圖(a). Hy-LFP/C (b). Hy-LFP/GO/C (c). SP-LFP/GO/C和(d). SP-LFP/PGO/C。 36圖 28、(a). Hy-LFP/C, (b). SP-LFP/GO/C, (c). SP-LFP/PGO/C複合材料在0.2~10C時的充放電曲線, (d). LFP複合材料的速率能力曲

線圖。 36圖 29、具有不同NC層含量的LiFePO4的SEM圖(a).0 wt. %NC (b).2 wt. %NC (c).5 wt. %NC (d).10 wt. %NC。 37圖 30、HRTEM圖(a).LFP/C, (b).LFP/C/CNT, (c).LFP/C/G, (d).LFP/C/G/CNT。 38圖 31、LiFePO4/C陰極材料之流程示意圖。 45圖 32、LiFePO4/C陰極複合材料的各性質檢測項目之流程圖。 46圖 33、布拉格表面衍射示意圖。 47圖 34、X-ray繞射分析儀(Bruker D2 Phaser)。 48圖 35、原位繞射分析

光譜儀組件。 49圖 36、掃描式電子顯微鏡(Hitachi S-2600H)圖。 50圖 37、高解析穿透式電子顯微鏡(JEOL JEM2100)。 51圖 38、顯微拉曼光譜儀（Confocal micro-Renishaw）。 52圖 39、原位顯為拉曼分析光譜儀組件。 53圖 40、比表面積分析儀。 54圖 41、將錠片夾入自製夾具之示意圖。 55圖 42、元素分析儀(Thermo Flash 2000)。 56圖 43、LiFePO4/C複合陰極材料電極片製備之流程圖。 58圖 44、CR2032鈕扣型半電池封裝示意圖。 59圖 45、佳優(BAT-750B)電池

測試儀。 60圖 46、恆電位電池測試儀(MetrohmAutolab PGST AT302N)圖。 61圖 47、AC交流阻抗測試圖譜(Nyquist plot)示意圖。 62圖 48、BioLogic BCS-805電池測試儀。 64圖 49、添加不同導電碳材之陰極複合材料XRD分析圖譜。 66圖 50、(a) LFP/C、(b) LFP/C/VGCF電極在充放電1次循環下的In-situ XRD分析圖。 69圖 51、LFP/C電極在不同範圍之In-situ XRD分析圖。 70圖 52、LFP/C/VGCF電極在不同範圍之In-situ XRD分析圖。 70圖 53、在

In-situ XRD充放電過程中LFP相的比例圖。 71圖 54、PGO之SEM表面形貌圖: (a). 1kx (b). 5kx (c). 10 kx (d) 20 kx。 73圖 55、VGCF之SEM表面形貌圖: (a). 1kx (b). 5kx (c). 10 kx (d) 20 kx。 73圖 56、LFP/C之SEM表面形貌圖: (a).、(b). 在5kx、(c).、(d). 在10kx。 74圖 57、LFP/C/PGO之SEM表面形貌圖: (a).、(b). 在5kx、(c).、(d). 在10kx。 74圖 58、LFP/C/VGCF之SEM表面形貌圖: (a)

.、(b). 在5kx、(c).、(d). 在10kx。 75圖 59、LFP/C樣品EDS元素mapping分析圖。 76圖 60、LFP/C樣品EDS元素分析光譜圖。 76圖 61、LFP/C/PGO樣品EDS元素mapping分析圖。 77圖 62、LFP/C/PGO樣品EDS元素分析光譜圖。 77圖 63、LFP/C/VGCF樣品EDS元素mapping分析圖。 78圖 64、LFP/C/VGCF樣品EDS元素分析光譜圖。 78圖 65、自製PGO添加劑在HR-TEM之分析圖。 80圖 66、市售VGCF添加劑在HR-TEM之分析圖。 80圖 67、LFP/C粉體在H

R-TEM之分析圖。 81圖 68、LFP/C/PGO粉體在HR-TEM之分析圖。 82圖 69、LFP/C/VGCF粉體在HR-TEM之分析圖。 83圖 70、添加不同導電碳材之LFP/C陰極複合材料之拉曼分析結果圖。 85圖 71、LFP/C在不同範圍之In-situ micro-Raman分析圖。 87圖 72、LFP/C/VGCF在不同範圍之In-situ micro-Raman分析圖。 87圖 73、LFP/C材料之BET比表面積分析圖。 89圖 74、LFP/C/PGO材料之BET比表面積分析圖。 89圖 75、LFP/C/VGCF材料之BET比表面積分析圖。 9

0圖 76、LFP/C含不同導電碳材，在0.1C/0.1C充放電速率下，首次充放電克電容量曲線圖。 94圖 77、LFP/C在0.1C/0.1C充放電速率活化階段電性曲線圖。 95圖 78、LFP/C/PGO在0.1C/0.1C充放電速率活化階段電性曲線圖。 96圖 79、LFP/C/VGCF在0.1C/0.1C充放電速率活化階段階段電性曲線圖。 97圖 80、LFP/C添加不同導電碳材在0.1C/0.1C速率下活化曲線圖。 98圖 81、LFP/C在0.2C/0.2C-10C充放電速率電性曲線圖。 100圖 82、LFP/C/PGO在0.2C/0.2C-10C充放電速率電性曲線圖

。 101圖 83、LFP/C/VGCF在0.2C/0.2C-10C充放電速率電性曲線圖。 102圖 84、添加不同導電碳材在0.2C/0.2-10C速率電性曲線圖。 103圖 85、LFP/C在0.1C/0.1C充放電速率30 cycles電性曲線圖。 106圖 86、LFP/C/PGO在0.1C/0.1C充放電速率下30 cycles電性曲線圖。 107圖 87、LFP/C/VGCF在0.1C/0.1C充放電速率30 cycles電性曲線圖。 108圖 88、LFP/C添加不同導電碳材在0.1C/0.1C充放電速率30 cycles電性曲線圖。 109圖 89、LFP/C在1

C/1C充放電速率100 cycles之電性曲線圖。 110圖 90、LFP/C/PGO在1C/1C充放電速率100 cycles之電性曲線圖。 111圖 91、LFP/C/VGCF在1C/1C充放電速率下100 cycles之電性曲線圖。 112圖 92、LFP/C添加不同導電碳材在1C/1C充放電速率100 cycles之電性曲線圖。 113圖 93、LFP/C在1C/10C充放電速率下100 cycles之電性曲線圖。 114圖 94、LFP/C/PGO在1C/10C充放電速率下100 cycles之電性曲線圖。 115圖 95、LFP/C/VGCF在1C/10C充放電速率下

100 cycles之電性曲線圖。 116圖 96、添加不同導電碳材在1C/10C充放電速率100 cycles之電性曲線圖。 117圖 97、LFP/C添加不同導電碳材之CV分析圖。 119圖 98、LFP/C樣品之電化學微分曲線分析。 121圖 99、LFP/C/VGCF樣品之電化學微分曲線分析。 122圖 100、LFP/C樣品添加不同導電碳材之電化學微分曲線分析。 123圖 101、等效電路圖模組圖[112]。 125圖 102、在0.1C/0.1C充放5次循環後，不同導電碳材製備LFP/C樣品:(a). EIS阻抗比較圖、(b).鋰離子擴散係數比較圖。 126圖 10

3、在0.1C/0.1C充放30次循環後，不同導電碳材製備LFP/C樣品(a). EIS阻抗比較圖、(b). 鋰離子擴散係數比較圖。 127圖 104、在1C/1C充放100次循環後，不同導電碳材製備LFP/C樣品(a). EIS阻抗比較圖、(b). 鋰離子擴散係數比較圖。 128圖 105、LFP/C單次步驟充放電曲線圖(a) charge；(b) discharge。 132圖 106、LFP/C之V vs.τ1/2分析圖。 132圖 107、LFP/C之GITT充放電曲線圖。 133圖 108、LFP/C/VGCF之GITT充放電曲線圖。 133圖 109、GITT單次步驟比

較(a) charge、(b) discharge。 134圖 110、GITT之充電分析圖。 134 表目錄表 1、鋰離子電池之陰極材料的特性比較分析表 9表 2、鋰離子電池常用有機溶劑之特性比較 15表 3、LiFePO4與FePO4之晶格參數 17表 4、實驗藥品 39表 5、實驗儀器與設備 40表 6、充放電條件計算表 60表 7、方程式中符號及單位 63表 8、添加不同導電碳材之陰極複合材料XRD晶相比較表 66表 9、添加不同導電碳材之LFP/C陰極複合材料之拉曼分析結果 85表 10、LFP/C、LFP/C/PGO、LFP/C/VGCF之比表面積分析結果

88表 11、LFP/C、LFP/C/PGO、LFP/C/VGCF之粉體電子導電度結果分析 91表 12、添加不同導電碳材之陰極複合材料之殘碳含量分析 92表 13、LFP/C含不同導電碳材，在0.1C/0.1C充放電速率下，首次充放電克電容量比較 94表 14、LFP/C在0.1C/0.1C充放電速率活化階段電性比較 95表 15、LFP/C/PGO在0.1C/0.1C充放電速率活化階段電性比較 96表 16、LFP/C/VGCF在0.1C/0.1C充放電速率活化階段電性比較 97表 17、LFP/C添加不同導電碳材在0.1C/0.1C速率下活化比較 98表 18、LFP/C在

0.2C/0.2C-10C充放電速率電性比較 100表 19、LFP/C/PGO在0.2C/0.2C-10C充放電速率電性比較 101表 20、LFP/C/VGCF在0.2C/0.2C-10C充放電速率電性比較 102表 21、添加不同導電碳材在0.2C/0.2-10C速率電性比較表 103表 22、LFP/C/PGO在0.1C/0.1C充放電速率下30 cycles電性比較表 107表 23、LFP/C/VGCF在0.1C/0.1C充放電速率下30 cycles電性比較表 108表 24、LFP/C添加不同導電碳材在0.1C/0.1C充放電速率30 cycles電性比較表 10

9表 25、LFP/C添加不同導電碳材在1C/1C充放電速率100 cycles之電性比較表 113表 26、添加不同導電碳材在1C/10C充放電速率100 cycles之電性比較表 117表 27、LFP/C添加不同導電碳材之CV分析結果 119表 28、LFP/C樣品之電化學微分曲線分析表 121表 29、LFP/C/VGCF樣品之電化學微分曲線分析表 122表 30、LFP/C樣品添加不同導電碳材之電化學微分曲線分析 123表 31、在0.1C/0.1C充放5次循環後，添加不同導電碳材製備LFP/C樣品之EIS分析及鋰離子擴散係數計算結果表 126表 32、在0.1C/0.

1C充放30次循環後，添加不同導電碳材製備LFP/C樣品之EIS分析及鋰離子擴散係數計算結果表 127表 33、在1C/1C充放100次循環後，添加不同導電碳材製備LFP/C樣品之EIS分析及鋰離子擴散係數計算結果表 128表 34、鋰離子的擴散係數方程式中符號及單位 130