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viton特性的問題，我們搜遍了碩博士論文和台灣出版的書籍，推薦SojiKomiya寫的 圖解真空技術入門 可以從中找到所需的評價。
國立虎尾科技大學 機械設計工程系碩士班 周榮源所指導 齊元任的 半導體真空閘閥機構設計之研究 （2018），提出viton特性關鍵因素是什麼，來自於真空傳輸閘板閥、真空閥件、應力分析、自然頻率、ANSYS Workbench。
圖解真空技術入門
為了解決viton特性 的問題，作者SojiKomiya 這樣論述：
本書特色 真空技術早在20世紀初就出現，直到20世紀後半才迅速被廣泛應用。本書從初階的何謂真空、真空中的物理現象、真空的產生一直到真空的量測、真空系統的組成元件、側漏技術、超高真空與潔淨真空、真空工業的發展，每一個單元都詳盡說明。實屬史上第一本針對初次接觸真空技術的讀者做全面性解說的書籍。 本書並且是因應當前大眾需要所特別撰寫，內容盡量解說最基本的入門知識，並搭配圖解。因此，即使是非常重要的專業知識也大膽捨棄，相信本書能補足真空技術入門書籍不足的缺憾。讀者可將此書當作學習更專業知識前的跳板，掌握基本概要，將讓您更得心應手。 作者簡介 小宮 宗治 Soji Komiya 1948
年 東京工業大學附屬工業專門部金屬工業科畢業 1959年 就職於日本真空技術株式會社 1977年 獲得東京工業大學工學博士學位 1979年 被任命為日本真空技術株式會社董事(director) 1986年 就職於株式會社Ulvac Cooperate Center董事(director) 1990年 就職於株式會社筑波研究聯合中心(consortium) 常務董事(director) 1995年 就職於株式會社筑波研究聯合中心(consortium) 專務理事 1998年 由株式會社筑波研究聯合中心(consortium) 專務理事退休 著作有：《電子管的管史》
（□□□社）《實驗物理學講座4「真空技術」》（共立出版）《□□□□□□□□．表面分析的科學》（講談社）《表面處理□材料》（裳華房）以上四書為與他人共著作品。《超高真空□□□□世界》（講談社）《週末八□岳□□□暮□□》（晶文社）《定年後八□岳□□□暮□□》（晶文社） 譯者簡介 羅丞曜 日本東京大學畢業。電氣工學博士。現任國立清華大學奈米工程與微系統研究所 助理教授。近期研究興趣為半導體材料、光學微機電系統、印刷式生產技術及軟性電子元件。截至目前為止個人著有十八篇科技論文並擁有六件半導體元件製程國際專利。自2000年起持續從事英文及日文科技圖書及論文的翻譯、校稿及潤稿工作。目前譯有《圖解光與雷
射應用》(世茂出版)。
半導體真空閘閥機構設計之研究
為了解決viton特性 的問題，作者齊元任 這樣論述：
真空傳輸閘板閥(Slit Valve)是半導體製程設備中一項必要的真空零組件產品，主要功能在隔絕兩個不同製程腔體，達到真空隔離及確保產品質量之目的，半導體產業是一項耗資龐大的產業，不少的相關產品都與他密切相關。 真空傳輸閘板閥作動方式是透過連桿機構或是氣壓驅動方式來進行刀板之往復運動。其中真空封合部分要考慮到O形環的材質與其受力是否均勻，其結果會影響真空腔體內的真空度。因機構相對運動所產生之O形環磨耗，亦可能產生微奈米粒子，隨著流場改變而影響晶圓表面潔淨度。本文主要目的是針對真空傳輸閘板閥進行應力分析，探討在不同運動模式之自然頻率、受力分布與振動分析，進而驗證不同操作條件下真空
傳輸閘板閥之力學行為，及可能之微奈米粒子產生狀況，運用電腦輔助立體繪圖軟體SOLIDWORKS建立三維立體模型後，將模型導入ANSYS Workbench來達成動力學應力分析。 本研究對相關真空閥件創新設計與使用條件之問題分析上有很大助益，由ANSYS Workbench來了解閥門機構件在運動的情況下所產生的應力破壞的位置以及在模態下所產生的頻率，來探討是否改良其機構，而O形環的應力變化以及位移量則可以了解出氣密性是否良好或是影響產品品質，分析可以減少許多不必要的開發成本，取代過去實際做出來測試方式，提升產能效率，減少失誤，使生產作業更加資訊化。