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工業4.0半導體設備與製程機台之開發

為了解決usb pin腳的問題，作者洪淇釧 這樣論述：

台灣的半導體工業發展自引進IC封裝，迄今已有數十年歷史。在政府有計劃的輔導、推動、以及業界多年來的經營，從上游晶圓材料到IC設計業、製造業、封裝業、測試業等，產業結構可謂相當完整，也因此機台的維護與升級一直是產業鏈存在的問題。台灣半導體產業鏈存在著數量相當龐大的老舊機台，這些機台因製程因素、新設備造價高昂、原設備商結束營運等問題，因而持續沿用至今無法升級與維護。製造半導體的技術非常複雜，需要特殊製程步驟、設備材料等，也因此製程與設備人員通常需要廣泛的相關訓練，包含RF產生器、匹配器、真空幫浦、混和氣質流控制器(MFC)、殘留氣體分析器(RGA)等等設備，而影響半導體製程良率因素眾多包含RF電

極放電與反射功率、真空度、溫度、氣體等等，這些製程設備伴隨著眾多的HMI人機介面、PLC、PC-Based及各式各樣的感測器。本論文以半導體機台設備資電整合來實作，藉由擷取HMI人機介面、PLC信號、PC-Based 訊號建立資料庫來記錄機台運轉時之資訊並包含機台內部其他設備資訊。其中，自匹配控制器(Match Controller)擷取負載電容位置(Load Capacitor Position)與耦合匹配電容位置(Tune Capacitor Position)，自射頻訊號產生器(RF Generator)。 擷取正向功率(Forward Power)與反射功率 (Reflected Po

wer) ，並且記錄上述資料。另外，也具備控制與擷取機台設備中原始舊型電腦設備之鍵盤與、COM PORT滑鼠訊號，作為自動應對功能與停機檢修的動作，來降低材料廢品率。亦於原機台增設壓差式流量感測裝置來與既有之氣流量控制盒(Gas Boxes)作為整合及資料紀錄，以導入工業4.0 為目的，來輔助製程設備等相關人員。