ghi line波長的問題，透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列問答集和資訊懶人包

另外網站微影照像也說明：-12m），光源. 的唯一選擇是雷射。 表1.1 各種微影技術之比較. 波長 λnm. △λ/λ. %. 最小線寬. Rmin，nm. 聚焦景深. （DOF），nm. 備註. G-line.

最後網站光刻机_百度百科則補充：常用的紫外光光源是高压弧光灯（高压汞灯），高压汞灯有许多尖锐的光谱线，经过滤光后使用其中的g 线（436 nm）或i 线（365 nm）。 对于波长更短的深紫外光光源，可以 ...