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滾輪壓印微/奈米複合結構膜之研究

為了解決Eppendorf Tube的問題，作者吳宇宸 這樣論述：

目錄指導教授推薦書口試委員會審定書致謝 iii摘要 ivAbstract v目錄 vi圖目錄 x表目錄 xv第一章、導論 11.1 前言 11.2 奈米結構簡介 21.3 自然界的奈米現象 31.4 自組裝技術 51.5 奈米轉印技術 91.6 抗反射結構 111.7 研究動機 13第二章、文獻回顧 142.1 微奈米自組裝結構 142.2 旋轉塗佈法 182.3 滾輪壓印技術 222.4 抗反射結構 282.5

文獻回顧總結 32第三章、實驗材料與設備 333-1 微奈米球自組裝材料與設備 333-1.1 基板材料及使用工具 333-1.2 基板清洗液及設備 343-1.3 實驗材料 353-1.4 旋轉塗佈設備 373-2 轉印結構設備 393-2.1 表面濺鍍設備 393-2.2 電鑄翻模 403-3 滾輪壓印設備 413-3.1 壓印系統 423-3.2 加熱系統 433-3.3 速度控制系統 443-4 量測設備 453-

4.1 場效發射式掃描電子顯微鏡（FE-SEM） 453-4.2 水接觸角量測儀（Contact Angle Meter） 463-4.3 原子力顯微鏡（AFM） 463-4.4 分光光譜儀（UV-VIS） 473-4.5 太陽光模擬器（Solar IV） 48第四章、實驗方法 494-1 實驗架構 494-2 實驗流程 504-3 旋轉塗佈製程 514-3.1 矽基板清潔 534-3.2 製程A 544-3.3 製程B 614-3.4 製程C及製程D

674-3.5 製程E及製程F 764-4 電鑄翻模製程 804-5 滾輪壓印製程 81第五章、結果與討論 825-1 旋轉塗佈結果 825-2 電鑄翻模結果 875-3 滾輪壓印結果 935-4 PET膜之光學性質量測 96第六章、結論與未來展望 976-1 實驗結論 976-2 未來展望 98參考文獻 99附錄 102 圖目錄圖1- 1、表面與自清潔的比較圖(A)光滑面 (B)粗糙面 4圖1- 2、(A)蛾眼(B)蛾眼結構SEM圖(C)不同結構折

射率示意圖[5] 4圖1- 3、(A)奈米球之毛細作用力 (B)奈米球之對流作用 6圖1- 4、不同結構對入射光折射影響示意圖[5] 12圖2- 1、(A) LB法示意圖 (B)單層膠體晶體SEM圖像[11] 14圖2- 2、單層PS在基材上的製備方法[12] 15圖2- 3、通過浮動轉移技術製造有序二維聚苯乙烯SEM圖像[12] 15圖2- 4、(A)整體設備圖 (B)設備俯視圖 (C)製程程序圖 (D)工作區域內之空氣/水界面自組裝圖像 (E)轉移完成樣本圖[13] 16圖2- 5、不同型態膠體單層SEM圖像(A)LS1(B)LS2(C)LS3[1

3] 16圖2- 6、(A)大面積二元膠體晶體圖 (B)二元膠體結構SEM圖[14] 17圖2- 7、旋轉塗佈示意圖及塗佈結果SEM圖像[7] 18圖2- 8、(A~C)SiO2塗佈SEM圖(D~F)不同溶劑對距離受力影響[7] 19圖2- 9、旋轉塗佈膠體晶體示意圖[15] 20圖2- 10、不同參數製備的膠體晶體SEM圖[15] 20圖2- 11、(A)通過旋塗的NCP單層膠體晶體 (B)樣品SEM圖[16] 21圖2- 12、濕式蝕刻表面精密加工示意圖[17] 22圖2- 13、(A)具柔韌性的金屬模 (B)滾輪熱壓印模具[17] 2

2圖2- 14、滾輪圖案製造示意圖[18] 23圖2- 15、(A)滾輪壓印光刻示意圖(B)~(G)滾壓模圖案SEM圖[18] 23圖2- 16、(A)Ni模包覆滾輪設備圖 (B)壓印結構示意圖 (C)Ni膜SEM圖 (D)轉印CA膜SEM圖[19] 24圖2- 17、(A)滾壓示意圖(B)密度示意圖(C)光學模擬LGP亮度[20] 25圖2- 18、(A)紅外線滾輪壓印設備 (B)滾輪[21] 26圖2- 19、(A)等離子濺射SEM圖 (B)等離子濺射AFM圖 (C)穿透率比較圖 (D)反射率比較圖[21] 27圖2- 20、(A)製作薄膜示意圖 (B)

反射率比較圖 (C)水滴角[22] 28圖2- 21、製程示意圖[23] 29圖2- 22、PS之SEM圖像 29圖2- 23、製造二氧化矽奈米柱示意圖[24] 30圖2- 24、不同溫度下RTA處理2分鐘奈米顆粒SEM圖像 (A) & (B)退火後形成純Cu奈米顆粒 (C) & (D) 添加Ag之奈米顆粒[24] 31圖2- 25、不同製程之波長反射率關係圖[24] 31圖3- 1、(A)矽晶片 (B)鑽石刀 33圖3- 2、SC1溶液 34圖3- 3、SC2溶液 35圖3- 4、SPM溶液 35圖3- 5、聚苯乙烯微球(100 n

m/ 900 nm)溶液 36圖3- 6、實驗所需界面活性劑 36圖3- 7、PET薄膜 37圖3- 8、(A)旋轉塗佈機 (B)恆溫烘箱 38圖3- 9、實驗所需工具 (A) Conical tube (B) Eppendorf tube (C) Tip (D) Pipette 38圖3- 10、鍍金機 40圖3- 11、電鑄槽 40圖3- 12、滾輪壓印設備3D示意圖 41圖3- 13、滾輪壓印設備2D工程圖 41圖3- 14、(A)空壓機 (B)空壓機詳細資料 42圖3- 15、(A)氣壓缸 (B)氣壓缸詳細資料 42圖3

- 16、(A)滾輪設備 (B)滾輪尺寸圖 43圖3- 17、(A)紅外線加熱器(B)紅外線加熱器示意圖 43圖3- 18、(A) US無段變速馬達 (B)動力齒輪 44圖3- 19、FE-SEM外觀圖 45圖3- 20、水接觸角測量儀外觀圖 46圖3- 21、原子力顯微鏡外觀圖 47圖3- 22、UV-VIS外觀圖 47圖3- 23、太陽光模擬器 48圖4- 1、實驗架構圖 49圖4- 2、(A)旋轉塗佈 (B)鍍金 (C)電鑄翻模 (D)滾輪壓印 50圖4- 3、(A)未清潔 (B)已清潔之矽基板 53圖4- 4、電鑄製程示

意圖 80圖4- 5、滾輪壓印設備 (A)實際設備圖 (B)紅外線溫度感測儀 81圖5- 1、旋塗後試片樣貌 (A)製程A (B製程B (C)製程C 85圖5- 2、製程A之AFM圖 86圖5- 3、製程B之AFM圖 86圖5- 4、製程C之AFM圖 86圖5- 5、製程A鎳鈷合金模( X10000) SEM圖 87圖5- 6、鎳鈷模厚度調整 (A)厚度為0.23 mm (B)厚度為0.05 mm 88圖5- 7、製程A模初始電鑄SEM圖 (A) X1000 (B) X3000 89圖5- 8、A模以丙酮清潔後SEM圖 (A)X5000 (

B) X10000 89圖5- 9、B模以丙酮清潔後SEM圖 (A) X30000 (A) X40000 90圖5- 10、C模以丙酮清潔後SEM圖 (A)X2000 (A)X10000 90圖5- 11、A模以HFIP清潔後的SEM圖 (A)X2000 (B)X10000 91圖5- 12、B模以HFIP清潔後的SEM圖 (A)X20000 (B)X30000 92圖5- 13、C模以HFIP清潔後的SEM圖 (A)X3000 (B)X20000 92圖5- 14、PET薄膜AFM圖 (A)製程A (B)製程C (右上為高倍圖) 93圖5- 15、P

ET薄膜之水接觸角 (A)製程A (B)製程B (C)製程C 95圖5- 16、PET薄膜反射率量測 96 表目錄表1- 1、奈米粒子製備方法[2] 2表1- 2、自組裝技術的種類及概述 6表1- 3、微影技術比較表[9] 10表3- 1、變速馬達規格 44表4- 1、微奈米溶液比例分配 52表4- 2、基板清潔製程 53表4- 3、製程A1（奈米球溶液/界面活性劑）的旋塗參數 54表4- 4、製程A1不同倍率SEM圖像 54表4- 5、製程A2（旋轉時間）的旋塗參數 56表4- 6、製程A2不同倍率SEM圖像 56表4-

7、製程A3（旋轉速度）的旋塗參數 57表4- 8、製程A3不同倍率SEM圖像 57表4- 9、製程A4（界面活性劑）的旋塗參數 59表4- 10、製程A4不同倍率SEM圖像 59表4- 11、製程B1（奈米球溶液/界面活性劑）的旋塗參數 61表4- 12、製程B1不同倍率SEM圖像 62表4- 13、製程B2（旋轉時間）的旋塗參數 63表4- 14、製程B2不同倍率SEM圖像 63表4- 15、製程B3（旋轉速度）的旋塗參數 64表4- 16、製程B3不同倍率SEM圖像 64表4- 17、製程B4（界面活性劑）的旋塗參數 6

5表4- 18、製程B4不同倍率SEM圖像 66表4- 19、製程C1（旋轉時間）的旋塗參數 67表4- 20、製程C1不同倍率SEM圖像 68表4- 21、製程C2（旋轉速度）的旋塗參數 68表4- 22、製程C2不同倍率SEM圖像 69表4- 23、製程C3（界面活性劑）的旋塗參數 70表4- 24、製程C3不同倍率SEM圖像 70表4- 25、製程D1（旋轉時間）的旋塗參數 71表4- 26、製程D1不同倍率SEM圖像 72表4- 27、製程D2（旋轉速度）的旋塗參數 72表4- 28、製程D2不同倍率SEM圖像 73表4

- 29、製程D3（界面活性劑）的旋塗參數 74表4- 30、製程D3不同倍率SEM圖像 74表4- 31、製程E及製程F的旋塗參數 76表4- 32、製程E不同倍率SEM圖像 77表4- 33、製程F不同倍率SEM圖像 78表5- 1、各製程最佳旋塗參數 82表5- 2、各製程旋塗後最佳結果 83

微流碟盤系統應用於血液中外吐小體之免疫親合抓取之研究

為了解決Eppendorf Tube的問題，作者王啟睿 這樣論述：

癌症轉移是目前最主要的癌症死亡原因，對於其轉移的機制至今仍待釐清。透過分析現今所認定之癌症轉移因子，盼望對於其轉移的預防能有更進一步的貢獻。近年來，外吐小體已被許多研究證實在癌症轉移中扮演著相當重要的角色，而用其當作早期癌症轉移的標的也漸趨明朗。如何精準且快速的抓取與分析高純度的外吐小體也就成為現今很重要的一個課題。本研究提出一套能運用在自動化機台的微流碟盤系統。此系統由微結構碟盤與特殊設計的微量離心管承載器所構成，碟盤可直接從全血開始進行自動化血漿分離以及外吐小體的磁珠免疫親合抓取，其免疫磁珠與血漿比例和外吐小體抓取效率則是經由100到600微升的全血進行驗證，而結果是由西方墨點法進行蛋白

檢測。此外，透過與超高速離心法和高分子試劑抓取的比較，實驗結果證實，碟盤系統可從三位乳癌患者成功的分離出血漿中的外吐小體。且可從全血分離98.3%的紅血球以達到血漿分離。此系統透過自動化機台和免疫親合法的專一抗體結合抗原特性，減少了人為的操作實驗的誤差，同時省去了超高速離心繁瑣步驟和常用試劑的非專一抓取的問題。盼望此系統能對於未來臨床研究者提供妥善的協助。