黃光微影製程的問題，透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列問答集和資訊懶人包

應用金奈米粒子自組裝薄膜結合梳狀電極之濃縮免疫分析

為了解決黃光微影製程的問題，作者鄭宜宣 這樣論述：

進行生物分子檢測時往往會面臨到靈敏度問題，因此可以藉由預濃縮的步驟提升生物分子的檢測效率。對於疾病檢測中，蛋白質可做為檢測物，透過所設計的微奈米流道加上適當電壓能讓低濃度蛋白濃縮，從而增加免疫反應中抗原-抗體反應之靈敏度。本研究製造出能濃縮蛋白質並對其做免疫分析之微晶片，其流道母膜是由黃光微影製程製作並以聚二甲基矽氧烷 (Polydimethylsiloxane, PDMS) 轉印而成，晶片部分則是利用金奈米粒子 (AuNPs) 自組裝於玻片上之特定區域，當AuNPs與PDMS接合時會形成奈米通道，於施加電壓後會產生電雙層 (Electrical Double Layer, EDL) 重疊，

進而產生離子濃度極化 (Ion Concentration Polarization, ICP)，與電滲流及電泳力平衡後能使目標蛋白快速累積。晶片中同時製造金電極免疫反應區，蛋白質會集中在此區域並被金電極表面上所嫁接之抗體捕獲，當抗體-抗原結合後即可進行阻抗量測。研究結果顯示，所使用之螢光異硫氰酸素 (Fluorescein Isothiocyanate, FITC) 標示之胎牛血清蛋白 (Bovine Serum Albumin, BSA) 在透過預濃縮後可成功被抗體捕獲，且相對於未濃縮之微晶片，進行預濃縮步驟後的免疫分析效果較佳。

高靈敏度神經元特異烯醇酶微型生醫感測晶片之開發

為了解決黃光微影製程的問題，作者陳威佑 這樣論述：

依據108年行政院衛生福利部統計資料顯示，癌症已連續38年位居國人十大死因中的首位，其中在十大癌症死因中，可發現無論男性或女性皆以肺癌為死亡率最高者，每年超過9000人因其喪命。依據組織病理學，肺癌可劃分為「小細胞肺癌」以及「非小細胞肺癌」兩種，其中的小細胞肺癌因其具癌細胞生長和轉移速度快速特點，對患者的治療更具時效性，在臨床醫學上，神經元特異烯醇酶(neuron specific enolase, NSE)常用作檢測小細胞肺癌之良好指標，故透過量測血液中神經元特異烯醇酶濃度，可用來判斷患者是否罹患小細胞肺癌和其嚴重程度的參考，適合醫生臨床診斷、分期、偵測及手術後追蹤之應用。為此本論文致力於

開發可快速檢測檢測神經元特異烯醇酶之微型感測晶片，以求改善現有檢測方式較為耗時且成本較高之缺點。本論文利用微機電製程技術開發出以延伸式閘極場效電晶體為基礎，結合封裝晶片完成之微型感測晶片，並運用自我組裝單分子層技術將神經元特異烯醇酶抗體固定於延伸式閘極感測區，利用抗體與抗原會產生專一性鍵結，且過程中會施予閘極負偏壓，便可由此電晶體特性變化去推算抗原濃度。本元件之主要製程包括四次薄膜沉積與四次黃光微影製程，以製作出延伸式閘極場效電晶體，另外使用兩次薄膜沉積與兩次黃光微影製程完成封裝晶片。 本論文所開發之微型神經元特異烯醇酶感測晶片尺寸為14.1 mm × 8 mm × 1 mm，依據量測結

果顯示，本元件在量測範圍0~1 ng/ml下，其感測電壓靈敏度為0.247 V∙(ng/ml)-1，線性度R-Square=0.857；在量測範圍1~100 ng/ml下，其感測電壓靈敏度為3.58×10-3 V∙(ng/ml)-1，線性度R-Square=0.934，偵測極限為0.279 ng/ml，響應時間為300秒，且對於癌胚抗原、細胞角質素21-1之感測靈敏度極低，顯示本論文開發之感測晶片具高專一性。綜觀上述，本論文所開發之微型神經元特異烯醇酶感測晶片具有體積小、感測靈敏度高、專一性高以及響應時間快等優點。