防止銅氧化的問題,透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列問答集和資訊懶人包

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這兩本書分別來自楓葉社文化 和麥田所出版 。

國立交通大學 電子研究所 陳冠能所指導 周子傑的 低溫銅對銅直接接合技術之鈍化層接合技術與非對稱接合結構研究與探討 (2020),提出防止銅氧化關鍵因素是什麼,來自於三維積體電路製造技術、低溫銅對銅直接接合。

而第二篇論文國立交通大學 電子研究所 陳冠能所指導 黃建棋的 降低熱預算之製程與模擬技術平台開發應用於堆疊/積層型三維積體電路 (2020),提出因為有 堆疊型三維積體電路、銅接合、鈍化層、晶片級接合、積層型三維積體電路、熱模擬、長晶控制技術的重點而找出了 防止銅氧化的解答。

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接下來讓我們看這些論文和書籍都說些什麼吧:

除了防止銅氧化,大家也想知道這些:

蒸氣龐克袖珍屋教本

為了解決防止銅氧化的問題,作者足立大樹,遠藤大樹,河合行雄,河合朝子,ASAMI,木下幸子,佐橋良廣,小島隆雄,Sabrina,ThickSkirt,土屋靜, 這樣論述:

  ~14件神級蒸氣龐克袖珍屋作品,具現化你的幻想世界!~   鍋爐冒出陣陣蒸氣,有著機械手臂的工程師走過街道,黃銅色的齒輪轉動著……   歡迎來到這凌亂卻美麗的幻想世界。   【偵探物語 第一回 天使降臨小鎮!】   「布萊梅」是一個人類與機器人一同生活的世界。某天,一名女孩從隔壁鎮的教堂來到位於自由鎮上一角的K☆偵探社,尋求偵探K的協助……   【博士與我最初的故事】   因為實驗室爆炸而失去了家人,孤獨的機器人工程師貝內特某天做出了具有心智的機器人「皮諾丘」,一段神奇又美妙的故事就此揭開序幕……   【Ladies and gentlemen!】   吐著陣陣白煙的蒸氣人偶馬

戲團在寒冬中造訪,這是鎮上一年一度的盛事……   【要遲到了,沒時間啦!】   我跟著一隻會說話的神奇兔子跳進了洞穴,裡面許多我從未看過的齒輪和機械突然吐出蒸氣,猛烈運作了起來……   【第7區】   地球上大多數的地方都因為Earth Impact而毀滅。雖然對生命的存在已經感到絕望,但存活下來的人仍建立了新的殖民地……   【平行世界電梯】   電梯門打開後,出現在眼前的是平行世界。這個空間滿是舊書,宛如古老的圖書館,四處擺放著防疫用的面具……   【蘇菲女士的裁縫店】   滿月之夜,當每個人都已入睡時,「蘇菲女士的裁縫店」伴隨著細微的齒輪聲開門營業了。不知從何而來的神奇顧客陸續現

身,上門訂做服裝……   【時間的縫隙】   每當我入睡,便會來到這個地方。這個世界全都是舞台,所有人不過是舞台上的演員,在此登場,然後退場……   【浦島水力發電廠第二控制分室】   某天,剛進入蒸氣電力公司工作的年輕員工在整理辦公室的倉庫時,在倉庫深處發現了類似模型的東西,上面還有「浦島水力發電廠第二控制分室」的字樣……   【旋轉木馬圖書館】   茨姆利某天發現了廢棄的旋轉木馬,覺得緩緩轉動的旋轉木馬與閱讀的時光有相似之處,於是與家人一點一點帶來自己的藏書,將這裡改造為圖書館……   【Aniti-gravity device】   1921年12月,機械工程學家Thick Sk

irt在進行新型蒸汽機的開發實驗時,因操作機械不慎,偶然開發出了可令周圍重力無效的反重力裝置「Aniti-gravity device」……   【發明家空博士的蒸汽機小屋】   懷抱夢想的發明家「空博士」打造出了不會破壞地球環境,以蒸氣機為主體的蒸氣系統,而且能完全分解排放出來的二氧化碳,有效防止地球暖化……   【2111年 皮諾丘】   西元2111年,地球的環境已經不適合人類居住。被遺棄在地球的人憑藉AI技術將身體縮小,苟延殘喘地活著。這個被丟棄的行李箱裡,是一位縮小了的老爺爺居住的研究所……   【STEAMPUNK‧STYLE PUB & SHOP「M STUDIO」

】   公爵一面幫客人調雞尾酒,一面不經意望向店內。這是公爵開的PUB,蒸氣龐克的愛好者喜歡聚集在此……   【法蘭克斯坦的復仇】   法蘭克斯坦的父親與弟弟、妹妹不幸遭恐怖分子操縱人造人引發的意外波及,因而喪生,傷心的法蘭克斯坦決心創造出「理想人類」向他們復仇……   除了作品鑒賞之外,作者還無私公開14項出現在作品中的小物的詳細製作方法,包括生鏽的工廠機械、斑駁的圍籬與鐵桶、點滴架、復古管風琴、地球儀造型酒瓶架、彩繪玻璃燈……等等,提供各位袖珍屋玩家創作作品的靈感!   如果你是袖珍屋的愛好者,想尋求更多刺激及收獲的話,請別錯過這本書。   相信這本書一定能讓你體會到更多關於袖珍屋的

樂趣。 本書特色   ◎收錄14件蒸氣龐克袖珍屋作品,帶你進入工業時代×高科技的超幻想世界,多角度鑑賞神級玩家的傑作!   ◎針對作品各處的細節解說,作者的匠心獨具之處大公開!   ◎精選14項小物進行詳盡的製作教學,搭配流程照片,帶你掌握製作過程的所有細節。

防止銅氧化進入發燒排行的影片

今天我們要來做適合夏天的蔬菜12道常備菜。
雖然每個手法都很簡單,但是在調味料方面下一點功夫的話,無論哪種都吃不膩。
另外,也考量到對身體有益的東西,還加入了用於料理的方法等。

這次特別多使用酪梨油。
酪梨油和橄欖油一樣,含豐富的油酸、維生素A、維生素E的omega-9(單元不飽和脂肪酸),是對身體非常好的油。
而且因爲耐加熱,所以油炸或炒菜都可以使用,比橄欖油沒有特別的味道,所以也可以用於日式料理。特別是維生素E的含量是橄欖油的2.5倍。抗氧化能力卓越。

今天影片中使用的酪梨油購買連結放在下方。
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不要屈服於夏天的炎熱天氣,要多攝取蔬菜、芝麻、豆類、醋、優質的油、發酵食品等,改善腸內環境,防止老化,健康地生活下去~。

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道歉與更正:
因之前銷售公司提供的折扣代碼有誤,之前輸入錯誤代碼的客戶也有折扣。
再把更正後的連結以及折扣碼貼上~造成大家不便之處深感抱歉。以後我會更注意小心,謝謝大家平時的觀看以及支持。


【影片內介紹料理】
韭菜醬油
鹽麴醃製番茄
四季豆拌芝麻
高湯醃製秋葵
夏季烤蔬菜
烤杏鮑菇咖喱風味
切紅火龍果淋上檸檬汁
蛇腹切拌醋小黃瓜
燉根菜和油炸豆腐
各種蔬菜醃菜
米糠醃製
麻辣蒟蒻


【影片內營養補助食品】
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【Instagram】
https://www.instagram.com/nihonjinfufu/
在Instagram上每天的飯也會上傳,如果可以的話請關注。
感謝您一直以來的鑑賞。


Music:
Laserdisc - Chris Zabriskie
Just Stay - Aakash Gandhi
Anton - Dan Bodan
Chris Zabriskie の Laserdisc は、クリエイティブ・コモンズ - 表示 4.0 ライセンスに基づいて使用が許諾されます。 https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
ソース: http://chriszabriskie.com/honor/
アーティスト: http://chriszabriskie.com/


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低溫銅對銅直接接合技術之鈍化層接合技術與非對稱接合結構研究與探討

為了解決防止銅氧化的問題,作者周子傑 這樣論述:

本研究針對三維積體電路製程關鍵技術之銅對銅直接接合進行深入地研究與開發。在銅對銅直接接合技術中,面臨一項關鍵問題:氧化銅的生成。銅金屬在一般室溫大氣環境下,會從表面開始生成氧化銅,隨著時間增加會逐漸深入銅金屬的內部,導致整體電性能特性下降。此外,氧化銅的生成將會嚴重抑制銅原子交互擴散能力,將不利於銅原子之間進行擴散與鍵結去實現接合製程。在傳統的銅對銅直接接合技術中,需透過高溫至300~400oC與長時間接合才能提供銅原子突破氧化層實行原子擴散之能量,才能有效實現接合。然而考量到在高溫接合的條件下,隨著元件特徵尺寸的微縮,製程熱預算對元件特性的影響成為重要的考量,且高溫製程所生成的熱應力也成為

可靠度之疑慮。在低溫銅對銅直接接合上,有兩種特殊接合製程方式可以達成。首先為金屬鈍化層之接合製程,超薄金屬鈍化層提供了銅表面隔絕與大氣接觸的機會,能夠有效地防止銅氧化。在鈍化層接合中,本文使用銀作為金屬鈍化層(厚度30奈米),並進行多項接合參數的優化,最終在低溫180oC維持3分鐘的接合條件下,實現良好的接合結果。另外,本實驗還觀察擴散銅在銀鈍化層介面之晶向排列以及生長狀況,並針對此擴散現象提出體擴散理論及晶界擴散理論去深入探討。其次為銅柱跟銅凹槽接合製程,此方式透過設計特殊的接合結構,促進金屬受力時產生的塑性形變,使得銅能在低溫下實現接合。在銅柱跟銅凹槽接合結構中,本文將感光性高分子材料沉積

在基板上,透過黃光以及熱固化製程調變側壁曲度以實現凹槽結構。在晶片級的接合製程中,此接合結構實現低溫150oC下只需1分鐘的接合條件,並展現出高強度及穩定的電阻值特性。另一方面,此接合結構也成功應用於集團接合技術,在低溫190oC下接合20分鐘,其接合結果呈現高接合良率及品質,並且各晶片皆呈現穩定的電性與可靠度。因此,此接合方式提供了一項具備高產率且廣泛應用性的三維積體電路製造整合技術。

改變世界史的12種新材料:從鐵器時代到未來超材料,從物質科學觀點看歷史如何轉變

為了解決防止銅氧化的問題,作者佐藤健太郎 這樣論述:

  科學與文明的化學反應、材料與歷史的物理變化 日本獲獎科普作家佐藤健太郎解析撰述 鐵、橡膠、膠原蛋白……等十二種材料 如何轉動時代之鑰、開啟改變歷史的關鍵時刻   從材料科學角度建構全球史! 本書介紹12種你最熟悉,卻未想過他有扭轉世界歷史能力的材料。 世界的變化快速,我們日常生活中的音樂載體即是一例,自戰後從唱片到CD登場後不久就讓出了寶座,至今由網路的串流及影片網站取代,急速消失。變化難以預測。作者認為世界如此快速變化,最重要的關鍵就是「材料」。自石器時代、青銅時代、鐵器時代至今,這些名詞證明了材料的出現是文明邁向新階段的關鍵。回到唱片的例子,最早的唱片是以蟲膠製成

,五○年代由於更加耐用便宜又易於量產的聚氯乙烯(PVC)唱片出現,使得流行樂的巨大市場成形。 推動歷史的材料有很多種,既有大量普及的材料,也有被競相爭奪的稀有材料,有自然和加工的材料,也有人工材料。本書選出其中十二種並介紹相關的歷史,希望能和讀者一窺材料才是打開時代之門的鑰匙。   ▌人人都愛黃金,但卻「不實用」 黃金是最為人渴望,也是集歷史於浪漫於一身的存在。黃金在牙醫治療或是電子上的用途都是很後期才被開發的,古代的黃金,如同希臘神話邁達斯國王點石成金故事所說本身毫無用處,主要是作為裝飾和貨幣,後者是最重要的用途。作者從神話切入,並介紹了黃金在日本的歷史,以及人類對黃金的追求,如淘金熱、西班

牙對印加帝國的征服,還有煉金術從現代化學的角度來看,要在燒瓶裡轉換元素是不可能的,但數千年的鍊金術發展中也發現了許多化學物質,磨練出基本化學實驗技術,化學進步後也才發現了黃金的新用途:導電。 作者也介紹了黃金的化學特性、作為貨幣的變化。今日的黃金已不再作為貨幣,但在人們心中仍是高價而保值的金屬,寄託著人類的想像。黃金卻造就了它吸引人目光的無限魅力,甚至成為計量「價值」的重要素材。   ▌從黏士到堅硬材料,陶器成為人類生活最重要的存在 陶瓷器的燒製是考古學者判斷文明的指標,也是自古便為世界各地人們常用,至今仍是生活裡被廣泛使用的材料。目前考古所知最早的燒製品是在中國湖南省出土,大約一萬八千年前的

土器。日本則是在冰河期結束時開始使用。各種形式的燒製品有助於水以及食物的儲存和調理,大幅提升人類的繁榮。 作者從化學變化來解釋為什麼黏土經過高溫能變得更加堅固耐久,並介紹了中國低溫燒製的陶藝技術(秦俑、長城磚塊)還有為了取得燃料過度砍伐森林對環境的影響,並從釉藥的進步再帶到白磁在中國和歐洲瓷器頂點梅森瓷器的起源,最後提及現代科學技術和陶瓷材料。伴隨人類超過萬年的陶瓷器,作為材料還隱藏著各式各樣的潛力。   ▌膠原蛋白不只留住青春,還在戰場上保你一命 經歷多次的冰河期以及必須跨越寒冷地域旅程的人類,在很長的時間裡唯一的防寒衣物是動物毛皮。毛皮要能使用必須經過加工,鞣製過的皮革具有柔軟度,能保溫且

輕盈,即便在有許多替代材料的今天依然很受歡迎,其祕密就在皮主要成分的膠原蛋白上。 作者從生物化學角度介紹膠原蛋白的特殊結構和重要性,膠原蛋白約占人體的三分之一,但和其他蛋白質的構造以及功能不同,主要是位於細胞外,發揮連結的作用,也是皮能維持柔軟彈性的原因,也是骨頭和肌腱的主要成分。骨頭是舊石器時代人類重要的硬質材料之一。蒙古帝國征服世界所使用的複合弓是在木製弓內側貼上動物骨頭或肌腱來加強彈性和硬度。貼合兩者的明膠、也是由膠原蛋白而來。除此之外,膠原蛋白也用在底片的塗料上。 今日由於對野生動物的保護意識和替代材料的開發,皮草皮革不再像以前那樣常見,底片也被數位相機取代。但膠原蛋白作為美容、醫療修

補,還有生物醫學植入材料受到矚目。若說由植物產生的材料中最重要的是纖維素,那麼動物材料裡最重要的就是膠原蛋白。   ▌運用最廣泛的金屬王者 鐵是材料之王。但鐵本身是柔軟的白色金屬,需要和其他金術製成合金才能擁有堅硬的優點,且容易鏽蝕,融點高達一五三五度,需要一定技術才能加工。鐵的優勢在於(和其他金屬比較下)易於取得。如果黃金的是稀少尊貴的代表,鐵就是能廉價大量生產的代表。 為什麼鐵的存在數量比其他金屬多?作者認為解答在核物理學中。人體由許多元素構成,包括碳、氧還有鐵等元素。這些元素是從星星而來。像太陽這樣的恆星內部超過一千萬度以上的高溫裡,核融合產生新的元素,我們的太陽中進行的是氫的融合,產生

了氦。更加古老而巨大的恆星中則有更重的原子融合出更重的元素,但並非永無止境。元素合成的界線就是鐵,是最安定的存在。地球上的重金屬還有人體中的重元素,可以說都是星星的碎片。現在的宇宙最多的仍是氫元素,和排名第二的氮元素總和大約佔全宇宙百分之九九點八七。但經過數百億數千億年後,鐵的比例會逐漸增加,最後變成都是鐵素的寂靜空間。 後半作者以鐵合金中最重要的鋼為切入,從西臺人和鐵的歷史說起。西臺人因鍛造鐵器而興盛,衰亡可能為了鍛造而跟過度砍伐森林有關。另一假設是西臺人為了尋求森林資源東進,後被稱為韃靼人。西臺帝國以及製鐵技術擴散的歷史還有很多疑問尚待證明。後半則是介紹日本刀的鍛造,還有不銹鋼的歷史。 從

西臺以來人類進入鐵器時代,恐怕鐵會持續材料之王的寶座直到人類消亡。   ▌纖維素造就了傳播之王 纖維素是地球上最大量的有機化合物,全球植物每年共可產出一千億噸。這樣大量的素材實際已被人類廣泛運用,從布料、食品、藥物錠劑都有纖維素,其經過化學加工後在高科技製品中也是不可缺的材料。但生活中最常間的纖維素製品應該是紙。 本章中作者從蔡倫的發明談起,蔡倫發明的紙重要性在於不但原料價格低廉,品質亦大幅提升,使得文化易於保存和傳播,並使中國能發展出書法等藝術。科舉制度能持續到二十世紀,紙的存在也功不可沒。作者從化學角度解釋纖維素的強韌和特點,並介紹了製紙技術在日本的發展以及和紙的特點,還有製紙技術因怛羅斯

之役傳到西方,以及印刷術的發展等。 纖維素作為主要知識和情報載體的王者地位,直到二十世紀後半才因磁性紀錄載體的出現而受到威脅。但陪伴人類兩千年的紙,作為材料也出現了大進展,那就是奈米纖維素(Nanocellulose)的出現,具有輕量而高強度的特點,混合其他材料可能製作出能通電的紙。雖然目前仍有成本高昂的缺點,未來的應用範圍相當廣泛,或許會成為今後社會發展的關鍵吧。   ▌千變萬化的碳酸鈣   若説鐵是材料的王者,碳酸鈣就是大明星。碳酸鈣來自石灰岩,即便是資源貧乏的日本也相當豐富。從教室裡的粉筆到食品添加物,濕壁畫的使用材料,碳酸鈣用途廣泛,在藝術上嘉惠人類良多。作者從地科角度說明碳酸鈣在地球

大量存在的理由。地球誕生時大量二氧化碳溶於海水,並和海底火山噴發的鈣元素結合,這讓地球大氣裡的二氧化碳比例下降,降低氣溫。和地球大小和質量類似的金星就沒那麼好運,海洋在吸收二氧化碳前就被蒸發,結果殘留大量二氧化碳,溫室效應讓溫度高達四百度以上。 石灰和木灰是最易取得的鹼性材料。粉碎的石灰石或貝殼經燒過後的生石灰具有殺菌效果,且能用來照明。石灰能調節土地酸鹼,是糧食生產的重要物質,也能用在防止病蟲害上。宮澤賢治也曾為推廣石灰的使用而奔走。但石灰最重要的用途是作為水泥,能用做建材,其中最能有效利用的就是羅馬人。條條大路通羅馬,固定大路表面的石板還有各種公共建築的都是水泥。 後半段作者則將重點放在海

洋生物。地球誕生時融入海水的二氧化碳也對海生物造成的影響,形成他們禦敵的硬殼。現在能有那麼多大量便宜的攤酸鈣能使用,也是受惠於當時的海中生物。然而碳酸鈣產物也有高價品,即是珍珠。作者在此介紹了珍珠的歷史、日本養殖業的發展,最後提到珊瑚礁和地球暖化危機。   ▌編織出帝國的柔軟素材 作者回憶小學時社會科背誦的地圖符號裡有「桑田」記號,由於當時周遭環境裡已經看不到桑田,作者一直對這個記號抱著疑惑。在昭和初年,桑田面積占日本農地四分之一,大約四成的農家養蠶,這也對日本農家建築和習俗產生影響。『日本書紀』和中國神話都顯示絹很早就出現在人類歷史中,也影響到日本的漢字。 絹觸感光滑,帶有光澤且耐用,並具有

透氣性且能保溫,理由是其成分絲蛋白的性質以及製程上。作者從化學結構和纖維形狀來解釋原因,並介紹絲路的歷史、以及日本從平安朝到現代的養蠶取絲歷史,包括蠶的品種改良、製絲工廠在日本現代化過程的角色。在化纖取代蠶絲的現在,桑田的地圖符號已在二零一三年廢止,科技也將目標轉向蜘蛛絲的利用,或許也可能有強化蠶絲的出現。   ▌運動與交通的世紀革命 二○一七年富比世公布的運動員收入排行榜裡,前百大中球類運動就占了九十名。風靡全球的球類運動裡,許多是在十九世紀後半誕生。這些運動中,比如足球擁有悠久歷史,棒球最初的比賽方式和現在完全不同,但都在差不多的時期裡大幅發展,作者認為這是因為品質優良的橡膠普及,讓球本身

能大幅改良且有穩定品質的緣故。作者接下來介紹了天然橡膠的產生,並從化學結構來說明橡膠有彈性的秘密。哥倫布第二次航行中發現橡膠並帶回歐洲, 英國化學家發現他能擦去鉛筆字跡。但橡膠能被廣泛使用,則是在固特異發明硫化處理使得汽車發明產生交通革命。作者再次提起材料和時代的關係性,他認為如果是中國道士取得橡膠,或許是否也能發明加硫法,若是把橡膠交給羅馬人,是否能讓幫助羅馬帝國更加擴張。想像各種可能,也是一種樂趣。   ▌地球兩端的吸引,開發了強力磁鐵的應用 為什麼磁鐵能吸引鐵的謎直到二十世紀才被解開,最簡單的說法就是電子旋轉產生磁性。電子的旋轉方向有兩種,一般物質中兩者數量相同,抵消了磁力,但由於鐵的原

子構造特殊,無法抵銷,因此產生磁性。人類發現磁鐵時間尚無定論,中一個說法是遊牧民族的鞋或拐杖上的鐵製品吸住了黑色的磁石,而發現了天然磁鐵。最早利用磁鐵的是中國人。作者在此介紹了指南車和「天子南面」的由來,還有鄭和下西洋的歷史,以及古代人因磁石「偏角」現象產生的困擾。伊能忠敬在一八一七年繪製出正確的日本地圖,他的仔細測量是最大的因素,但也受惠於當時日本附近的偏角近乎於零的運氣。 作者接下來介紹了物理學上第一部闡述磁學的專門著作《論磁石》,再從地球的地磁場延伸到近代電磁學的誕生以及在記錄媒體上的應用。最後則介紹了近代日本對強力磁鐵的開發。 ▌人類在天空遨翔的最大功臣 鋁是地球上非常普遍的元素,在地

表上的含量僅次與氧和矽,排行第三。但由於鋁和氧的結合太強,長久以來都是以氧化狀態存在,直到一八二五年才首次被提煉成金屬。具有輕盈、合成後有能有一定強度的優點,鋁作為金屬被人類使用的歷史卻只有兩百年左右,直到二十世紀才確立了量產方式而被廣泛使用。 作者本章中介紹了鋁的歷史,丹麥化學家成功提煉出鋁,以及法國拿破崙三世對鋁的熱愛,還有十九世紀分別成功提煉出鋁的美國科學家。並從化學角度解釋鋁為何輕盈、以及如此容易氧化的元素為什麼位是不易鏽蝕的材料,以及鋁在飛機製造上的應用等等。 ▌無所不在的塑膠改善了人類的生活也污染了未來 作者幼年裝著果汁的玻璃瓶,在一九八二年的食品修正法後被塑膠取代。輕盈,耐用,價

格低廉又容易形塑和上色,還可製作出不同的強度跟機能,塑膠取代了許多素材被應用在今天的日常生活、甚至航太用途上。而最早察覺到塑膠的人是誰呢?作者從工匠獻杯給羅馬皇帝的故事推測,那個不會粉碎的玻璃杯說不定就是塑膠材質的。作者引用日本工業規格的定義,塑膠是一種以高分子物質為主原料以人工製成各種用途的固體,並從分子和化學結構來說明這個定義,並介紹人工合成樹脂的歷史,從十九世紀的硝化棉、到二十世紀確立高分子的概念,到尼龍、聚乙烯的發明以及量產。最後提及塑膠的未來發展以及海洋污染的問題。   ▌影響近代科技最主要的元素:矽 僅僅一個世代,電腦就從企業或是研究機構裡的巨大機器化身為智慧型手機,成為日常生活的

一部份,這數十年來的社會變化,也有許多和電腦有關,因此矽是代表現代社會的材料。 在過去,人類也為了精密計算打造出各種工具,作者從古代希臘人打造用來計算天象的安提基特拉機械開始介紹,談及十七世紀著名的數學家帕斯卡、萊普尼茲設計過齒輪式的計算機,被視為電腦先驅巴貝奇的計算裝置開發、到真空管電腦的誕生。但電腦能發展成今日的樣貌,還是因為矽。 矽和氧是週期表上下相鄰的元素,性質類似,但在生物界幾乎沒有矽的存在。作者從此出發介紹矽的特性、化學構造以及用途,還有半導體從鍺到矽的發展過程,以及對電腦、人工智慧等產業的影響。  

降低熱預算之製程與模擬技術平台開發應用於堆疊/積層型三維積體電路

為了解決防止銅氧化的問題,作者黃建棋 這樣論述:

近十年來,隨著現代科技追求的輕薄短小與元件的操作速度,勢必得將電晶體的尺寸與線寬不斷的微縮,但是當尺寸不斷的微縮,二維積體電路受到物理的限制終將達到極限,因此為了解決此一問題,勢必得朝三維晶片堆疊發展。在近幾年提出的超越摩爾定律(More than Moore)中的一項利器:三維積體電路(3DIC),其可以達到高密度封裝、高異質整合以及更快速的訊號連接速度,而在三維積體電路中可簡單分為傳統式的堆疊型三維積體電路(Stacking 3DIC)與積層型三維積體電路(Monolithic 3DIC)。在堆疊型的三維積體電路中,是指將兩個或兩個以上之晶片,在接合前進行研磨(Thinning)、晶片承

載(Handling)、對準(Alignment)等工藝技術,而晶片之間的機械強度與電性連接可藉由矽穿孔(Through-silicon via, TSV)或是透過金屬接合(Metal Bonding)、氧化物接合(Oxide Bonding)、聚合物黏著接合(Polymer-Adhesive Bonding)完成,在這些接合中又以銅金屬接合較為受重視,因為銅具有良好之電性、抗電遷移佳、延展性、製程成本也較低。然而傳統銅對銅直接接合需在300~400°C才有較佳之表現結果,使得熱預算有過高之問題,且銅在空氣中容易氧化其表面不利於接合進行,因此本篇論文將銀作為鈍化層(Passivation La

yer),將銀鈍化層沉積約30奈米在接合處以防止銅氧化的發生。另外,本研究是在RDL層上再成長直徑約為10um的微凸塊並將其做為接合的結構以更符合科技實際之用途。透過不同的方法測試出適當之實驗參數、顯影、曝光時間、沉積之方式,使得銅微凸塊可以有較好的沉積品質成長在 RDL層上。研究結果顯示接合之溫度可以降低至大約200°C,並且可以承受溫溼度之測驗(uHast)、溫度循環測試(TCT)以及400小時之定電流電遷移測試,經過可靠度測驗以及電遷移測試,其電阻值呈現一穩定之結果,說明具有銀鈍化層之微凸塊接合結構可以有效降低接合之溫度。堆疊型三維積體電路中層與層之距離大約為微米等級,然而積層型三維積體

電路,可以將其間距縮小至奈米等級,縮小了一百倍可以使得訊號連接更為快速,以符合現在科技追求的高頻寬之特性,但積層式三維積體電路在製作時,因為高溫的退火造成在後製成(BEOL)電路上有隨機晶格邊界(radom grain boundary)的出現,會造成元件漏電流上升,這會使得電路的特性受到變異,而影響整個電路的波形和特性。此研究主要目的為透過特殊的微小孔洞設計(cooling hole)來有效控制晶格邊界,稱為晶格控制技術(Location-controlled-grain Technique)。本篇論文第二部分透過有限元素模擬軟體Ansys,模擬當利用奈秒雷射加熱,使得非晶矽薄膜退火再結晶成

多晶矽結構時,計算出其整體結構的時變溫度。由於矽薄膜之溫度與熔融態時間會影響薄膜的晶粒大小、品質與晶格邊界的成長,我們量測了其溫度與熔融態時間以分析出最佳之製程參數。另外在雷射退火法加熱時,利用Ansys軟體可得知底層元件之整體溫度,以確保底層元件不超過熱預算400°C。雷射加熱時,整體的溫度在製程時是無法確切知道的,因此透過此研究可以得知整體溫度並預防底層元件溫度過高,最後找出最佳之製成參數。