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應用於感測半導體製程監控之APM感測器之研製

為了解決酒精噴瓶500ml的問題，作者謝政宇 這樣論述：

本論文研究之主要目的為聲波平板模式(APM-Acoustic Plate Mode)感測器之研製。本論文所研製之APM感測器在應用上分為兩類：一為將APM感測器應用於即時偵測細胞増生反應之研究；二為利用APM感測器做半導體蝕刻製程監控之研究。原擬進行之半導體蝕刻製程監控研究由於蝕刻機台故障而無法進行，因此，本論文係集中於APM感測器在即時偵測細胞増生反應之研究。(本論文較適宜之題目應為應用於即時偵測細胞増生反應之APM感測器之研製)由於APM感測器之指叉式電極對(IDT-Inter Digital Transducer)和細胞增生的感測區位於相反的兩側。兼且使用的基材ST-cut石英為低壓電

性材料，可以直接培養細胞於感測區上而不需要額外的處理。在設計APM感測器上，使用數學軟體Maple，作為分析波傳力學型式之用。本感測器使用ST-cut之500 µm石英壓電材料製作，使用Cu金屬蒸鍍50對指叉式電極對(IDT)，基本操作頻率為31 MHz。首先探討本APM感測器對於不同黏度變化時的靈敏度，使用甘油與去離子水的混合溶液調配出不同的黏度比例作為量測溶液，黏度的變化由6.08 cp到455.47 cp。所量得之相位變化靈敏度在31.485 MHz為0.019度/cp，在57.79 MHz為0.061度/cp。為了量測細胞增生的靈敏度變化，實驗使用CCL60之兔眼角膜細胞。實驗從細胞植

入之23小時後開始量測。量測得到細胞增生的平均靈敏度為3.122度/(70 cells/mm2)。