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氣流隔絕裝置應用於光罩倉儲系統之隔絕效果研究

為了解決無塵紙新竹的問題，作者林哲宇 這樣論述：

目錄摘要 iABSTRACT iii誌謝 v目錄 vi表目錄 ix圖目錄 xi1 第一章 緒論 11.1 研究背景與動機 11.2 潔淨室 21.2.1 潔淨室定義 21.2.2 潔淨度分級範圍 21.2.3 潔淨室種類 41.3 微影製程及光罩 71.3.1 光阻劑 71.3.2 微影製程 71.3.3 光罩 81.3.4 光罩盒 81.4 氣態分子汙染物 81.5 撓曲方程式 101.6 文獻回顧 111.7 研究目的 131.8 研究創新 132 第二章 實驗設備與儀器 142.1 實驗設備 142.1.1 實驗場地 142.1.2 S

tocker room及外部無塵室 152.1.3 氣流隔絕裝置(FID) 172.1.4 示蹤氣體 202.1.5 雷射掃略成像系統 212.1.6 影像紀錄設備 242.2 實驗儀器 262.2.1 熱線式風速計 262.2.2 轉速計 262.2.3 壓差傳感器 272.2.4 THR20觸控式無紙紀錄器 283 第三章 實驗方法 293.1 實驗系統圖 293.2 FFU風速量測 303.3 示蹤氣體釋放手法 313.4 壓力調整方法 353.5 兩室壓差量測方法 353.6 實驗方法 353.7 流場可視化實驗流程 373.8 理論分析 373.

8.1 瑞利散射及米氏散射 383.9 質點影像測速技術 383.10 實驗數據分析方法 394 第四章 結果與討論 404.1 Case 1.0 404.2 Case 1.1 414.3 Case 1.2 434.4 Case 1.3 444.5 Case 1.4 464.6 Case 2.0 474.7 Case 2.1 494.8 Case 2.2 514.9 Case 2.3 524.10 Case 2.4 544.11 Case 3.0 564.12 Case 3.1 574.13 Case 3.2 594.14 Case 3.3 604.15 C

ase 3.4 624.16 Case 4.0 634.17 Case 4.1 654.18 Case 4.2 664.19 Case 4.3 684.20 Case 4.4 694.21 FID阻隔效果比較 715 第五章 結論與建議 745.1 結論 745.2 建議與未來實驗方向 75符號彙編 76參考文獻 78

職安衛管理系統風險評估之應用- 以電子紙顯示器製造為例

為了解決無塵紙新竹的問題，作者蕭淑芬 這樣論述：

國際標準ISO 45001職業安全衛生管理系統已於2018年3月正式發布，取代原有舊版OHSAS18001，ISO 45001延續舊版OHSAS 18001的精神，依PDCA循環架構使管理系統達到持續改善，及保護作業勞工之安全與健康。然而一個有效率的危害鑑別與風險評估方法不僅能降低職業災害更能使管理系統持續的有效性。本次研究對象為電子紙顯示器(Electronic Paper Displays,EPD)製造廠為例，以廠內之關鍵性作業研發單位與製造部門為分析對象，建置有別以往舊版之風險矩陣評估方式，首先將建立職務清查表辨識其各項作業的危害因子，再利用事故之嚴重度、發生機率及控制成效去計算其殘餘

風險，所得殘餘風險的分數來判定其風險等級，此風險評估的結果能檢視關鍵性作業主要之風險，判定其作業之控制措施是否足夠外，亦能評估可接受的低風險作業是否有改善職安衛績效的機會。研究結果顯示個案廠之關鍵性作業中，其主要的危害類型是物理性危害55.7%，其次是化學性的危害41.8%以及人因工程性的危害2.5%，製程作業風險等級分布由高至低依序為有43.6%為「一般風險」；41.2%為「輕度風險」；有15.2%為「中度風險」，並無「高度風險」及「重大風險」之製程作業。而評估結果屬於中度風險之作業主要是集中在研發單位的黃光區顯影作業，其次為薄膜區化學氣相沉積與蝕刻區Dry Etcher作業以及製造部門之切

割區作業。經與個案廠歷年發生之事故進行驗證後其結果相符合，也藉由此次風險鑑別結果，使得各部門產出更多改善的機會項目。透過新版職安衛管理系統ISO 45001要求，重新檢視該風險評估技術應用之可行性，可提供予日後建置管理系統的事業單位於風險評估上之應用。